v光刻机，提前两年具备市场化量产能力。

「陈总客气了！橙科精密的产品，我们一直在用，k—pa10的零位漂移率进入实测之后，比我们预期的还要好！」

陈默点头：「闫博士，刚才您讲的光刻机国产化问题，我其实有一个不同的思路！」

闫涛南挑眉：「哦？愿闻其详！」

陈默看了看周围，而后笑着开口。

「如果不用一台机器，而用一套系统呢？」

闫涛南愣住了：「什么意思？」

陈默用手指在桌上画了一个圈。

「光刻机本质上，是一套极端精密的光学+机械+控制系统。

如果把它拆开

光源是一套，光学系统是一套，传动工件台是一套，对准系统是一套，辅助系统是一套。

每一套，都可以是一个独立的「光刻模块」。」

他擡起头，看着闫涛南。

「如果把这些模块，用工厂的方式串联起来，而不是集成在一台机器里呢？

比如，我完全可以做一个几百米长的光刻厂」，工件在轨道上移动，依次经过各个模块一光源模块、掩模模块、曝光模块、检测模块」

闫涛南的瞳孔微微收缩。

他张了张嘴，粗想之下居然觉得并非不可能，于是没有立刻反驳。

陈默继续说：「这样做的优势是，每个模块可以独立优化，独立升级。

而且，我不需要把几十吨重的机器做到纳米级稳定。

因为工件是移动的，模块是固定的，稳定性的要求会降低几个数量级。」

「当然，缺点也很明显

占地面积大，生产效率低，不适合大规模量产。

但是，如果只用来做关键晶片的批量试制，或者做特种晶片，这个方案完全可行！」

闫涛南沉默了很久。

他想起当年在台机电时，做过的一些实验性项目。

陈默说的这个思路，不是天方夜谭。

某种意义上，早期的分步式光刻机，其实就是这样的。

只是后来为了追求效率，才走上了「集成化」的道路。

「陈总，你这个想法」闫涛南斟酌着措辞：「很有想像力。但实现起来，难度不比重头做一台机器小！」

陈默笑了：「我知道！

但至少，这条路不用依赖全球供应链。

真到了不得不这么干的时候，我们完全可以用自己的光源、自己的光学、自己的控制，一步一个脚印，总能走通的！」

他顿了顿，看着闫涛南的眼睛。

「闫博士，如果有一天，您想换个环境，欢迎来橙子半导体看看」

闫涛南愣住了。

然后，他笑了。

那笑容里，有欣赏，有感慨，也有一丝复杂的情绪。

「陈总，谢谢您的好意！但我在阿斯唛，还有很多事要做。」

陈默点点头：「我明白！但这句话永远有效，只要您想来，橙子随时扫榻相迎！」

两人握手告别。

走出教室，陈默回头看了一眼。

闫涛南还站在原地，望着他的

章节内容不完整，请退出阅读模式查看完整内容！